上海見道科技股份有限公司

外(wài)延設備

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外(wài)延爐一覽
• 筒式外(wài)延爐MT7700、MT7811K
• RF平闆式外(wài)延爐
• 單片式外(wài)延爐
• LPE3061&LPE2061 外(wài)延爐

MT系列外(wài)延爐性能	單片式外(wài)延爐性能	RF平闆式外(wài)延爐性能
• 良好(hǎo)的(de)表面質量和(hé)無滑移線 • 爐內(nèi)厚度均勻性±5% • 爐內(nèi)電(diàn)阻均勻性±5% • 過渡區(qū)窄 • 減壓外(wài)延	• 良好(hǎo)的(de)厚度和(hé)電(diàn)阻率均勻性 • 超強的(de)加工(gōng)能力 • 薄外(wài)延加工(gōng)能力 • 8英寸外(wài)延片加工(gōng)能力	• 高(gāo)産出 • 過渡區(qū)窄 • 良好(hǎo)的(de)厚度和(hé)電(diàn)阻率均勻性 • 大尺寸和(hé)雙腔體(tǐ)設計(jì) • 厚外(wài)延加工(gōng)能力
外(wài)延設備一覽
Centura機(jī)台	CSD
LPE 3061	ASM E2000

外(wài)延測試設備

公司具有(yǒu)一套完備先進的(de)外(wài)延表征設備，以确保外(wài)延片的(de)質量達到客戶的(de)要求。


MCV530	SSM495Hg-Probe CV System	CDE 4-Point Probe
Surface scan SP1	QS2200M Accent FTIR	ADE 9300
SSM SRP 2000	Agilent ICP MS7500CS	OLYMPUS MX50

外(wài)延輔助設備

	日(rì)産130噸的(de)超純水(shuǐ)系統。所産純水(shuǐ)電(diàn)阻率達18.2MΩ，顆粒度和(hé)TOC含量極低(dī)，達到國(guó)內(nèi)領先水(shuǐ)平。
	美(měi)國(guó)Verteq公司的(de)清洗設備。結合了超稀化(huà)學溶液和(hé)先進的(de)兆聲清洗技(jì)術，可高(gāo)效去(qù)除晶片表面的(de)顆粒、痕量金(jīn)屬和(hé)有(yǒu)

新傲科(kē)技(jì)采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和(hé)SSS四種工(gōng)藝，利用先進設備來(lái)制備SOI材料，以确保圓片能夠達到國(guó)際半導體(tǐ)标準，并能夠滿足當今世界主流IC生(shēng)産線的(de)要求。依靠強大而持續的(de)技(jì)術支持，整合國(guó)産化(huà)襯底片良好(hǎo)的(de)性價比以及強大而靈活的(de)加工(gōng)能力優勢，向客戶提供專業(yè)化(huà)的(de)外(wài)延服務。