上海見道科技股份有限公司

外(wài)延工(gōng)藝

外(wài)延技(jì)術 | 外(wài)延工(gōng)藝 | 外(wài)延産品 | 外(wài)延設備

新傲主要采用矽氣相(xiàng)外(wài)延，利用矽的(de)氣态化(huà)合物(wù)，主要為(wèi)SiHCL3, SiH2CL2. 這(zhè)兩種矽化(huà)合物(wù)在加熱的(de)矽襯底表面與氫反應或自(zì)身(shēn)發生(shēng)分解，還(hái)原成矽，并以單晶的(de)形式沉澱在矽襯底表面。
外(wài)延工(gōng)藝是一種薄層生(shēng)長(cháng)技(jì)術。能批量生(shēng)産參雜(zá)均勻，厚度一緻，晶格結構完整的(de)外(wài)延片。利用同質外(wài)延技(jì)術制備N/N+ 或P/P+ 結構外(wài)延片可解決晶體(tǐ)管制作(zuò)中頻(pín)率特性和(hé)擊穿功率特性間(jiān)的(de)矛盾。利用N/P型結構的(de)外(wài)延片可以實現(xiàn)雙極型集成電(diàn)路(lù)的(de)元器(qì)件(jiàn)之間(jiān)的(de)隔離，可靠性，成品率大大提高(gāo)，成本大大降低(dī)。

工(gōng)藝流程

Quality of Reactors

不同襯底材料下(xià)的(de)外(wài)延

Top ↑

新傲科(kē)技(jì)采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和(hé)SSS四種工(gōng)藝，利用先進設備來(lái)制備SOI材料，以确保圓片能夠達到國(guó)際半導體(tǐ)标準，并能夠滿足當今世界主流IC生(shēng)産線的(de)要求。依靠強大而持續的(de)技(jì)術支持，整合國(guó)産化(huà)襯底片良好(hǎo)的(de)性價比以及強大而靈活的(de)加工(gōng)能力優勢，向客戶提供專業(yè)化(huà)的(de)外(wài)延服務。