新傲在SOI材料研究方面居國(guó)內(nèi)領先位置，并保持國(guó)際先進水(shuǐ)平。

1) 2002年(nián)，新傲公司建立了國(guó)內(nèi)第一條SIMOX SOI生(shēng)産線，并開(kāi)發相(xiàng)關的(de)成套工(gōng)藝，研制出系列的(de)全劑量、中等劑量和(hé)低(dī)劑量SIMOX産品。

2) 2005年(nián)，新傲開(kāi)發出鍵合SOI材料生(shēng)産技(jì)術；同年(nián)，在結合SIMOX和(hé)鍵合技(jì)術的(de)基礎上(shàng)，新傲開(kāi)發出具有(yǒu)自(zì)主知識産權的(de)Simbond®技(jì)術(ZL 200510028365.6)。

3) 2008年(nián)，新傲開(kāi)發出另一項同樣具有(yǒu)自(zì)主知識産權的(de)BEST-SOI技(jì)術(ZL 200810201039.4)。

4) 2010年(nián)，新傲北區(qū)建成投産，批量生(shēng)産8英寸SOI/EPI産品。

5) 2014年(nián)，瞄準RF、汽車電(diàn)子(zǐ)市(shì)場(chǎng)的(de)蓬勃發展，新傲與法國(guó)Soitec公司開(kāi)展技(jì)術合作(zuò)，引進注氫剝離技(jì)術，并于2015年(nián)實現(xiàn)SOI産品的(de)量産。

6) 瞄準SOI器(qì)件(jiàn)及下(xià)一代微(wēi)納電(diàn)子(zǐ)材料的(de)應用，積極推進包括：高(gāo)遷移率襯底材料、高(gāo)k栅極介質材料、特種 SOI材料、SOI高(gāo)壓器(qì)件(jiàn)以及矽基光(guāng)互聯等方面的(de)研究工(gōng)作(zuò)。

新傲公司SOI主要專注下(xià)述領域：

SIMOX

Bonding

Simbond

Best SOI

Direct Si-Si Bonding

與此同時(shí)，新傲公司也緻力于外(wài)延技(jì)術的(de)發展：

• 在紅外(wài)加熱筒式外(wài)延設備上(shàng)開(kāi)發重摻As襯底上(shàng)的(de)外(wài)延工(gōng)藝，抑制As的(de)自(zì)摻雜(zá)效應，生(shēng)長(cháng)高(gāo)阻、過渡區(qū)窄的(de)外(wài)延層
• 在紅外(wài)加熱筒式外(wài)延設備上(shàng)實現(xiàn)厚度和(hé)電(diàn)阻率均勻性好(hǎo)的(de)1um左右的(de)BiCMOS用外(wài)延片
• 雙埋層、As埋層電(diàn)路(lù)襯底上(shàng)高(gāo)阻外(wài)延工(gōng)藝開(kāi)發
• 全梯度和(hé)半梯度外(wài)延工(gōng)藝開(kāi)發并應用到全系列FRD産品